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资本、襄禾资本、毅达资本、欣柯资本、春华资本等持续加码。　　研微半导体成立于2022年，专注于半导体高端薄膜沉积设备研发、生产与销售，精准切入芯片制造核心工序，以高端ALD（原子层沉积）、PECVD（等离子体增强化学气相沉积）及特色外延设备为核心，产品覆盖逻辑芯片、存储芯片、先进封装、功率器件、射频元件等领域，形成全场景产品矩阵，打通研发、工艺验证到量产交付全链条。责任编辑：杨舒

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发布时间：08:16:36